顯而易見,準(zhǔn)分子激光氣體成份中,Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體,除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外,對人體的危害是有限的,排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風(fēng),增強(qiáng)室內(nèi)空氣的對流。
除了稀有氣體之外,準(zhǔn)分子預(yù)混氣體,準(zhǔn)分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下,濟(jì)南準(zhǔn)分子預(yù)混氣,準(zhǔn)分子激光氣體都是以預(yù)混的形式進(jìn)行供應(yīng),這些預(yù)混氣的F2濃度都在1%以下,但足以對人體健康構(gòu)成威脅,尤其是一些工業(yè)和科研應(yīng)用的準(zhǔn)分子激光氣,使用的是5%F2+95%He,這類型的氣體對人體的危害更為嚴(yán)重。



在準(zhǔn)分子激光器全球的醫(yī)1療、半導(dǎo)體、光纖、平板顯示、材料研究等高1端行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用,準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng),但作為專業(yè)的準(zhǔn)分子激光氣體的重要廠商,我們同時也發(fā)現(xiàn)在準(zhǔn)分子激光器的使用上,還存在著一些隱憂,筆者想通過這篇文章,以引起相關(guān)操作人員的重視。
準(zhǔn)分子激光氣體的主要成分:
氟化ya(ArF) 193 nm :F2、Ar、He、Ne;
氟化ke(KrF) 248 nm :F2、Ar、He、Ne;
氯化氙(XeCl)308 nm :HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙(XeF) 351 nm:F2、Xe、He、Ne
顯而易見,準(zhǔn)分子激光氣體成份中,Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體,準(zhǔn)分子預(yù)混氣批發(fā),除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外,對人體的危害是有限的,排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風(fēng),增強(qiáng)室內(nèi)空氣的對流。



含氟準(zhǔn)分子激光氣體
準(zhǔn)分子激光氣是多組份混合氣體,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結(jié)合作用的結(jié)果。準(zhǔn)分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過含氟準(zhǔn)分子激光氣體能產(chǎn)生四種波長的光波(或譜線)。
HCl 準(zhǔn)分子氣體
準(zhǔn)分子激光是多氣體激光器,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結(jié)合作用結(jié)果。準(zhǔn)分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過氯化1氫準(zhǔn)分子能產(chǎn)生2種波長的光波(或譜線)。



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